{"id":485,"date":"2022-04-13T12:38:40","date_gmt":"2022-04-13T12:38:40","guid":{"rendered":"https:\/\/systronemv.com\/syst\/?page_id=485"},"modified":"2025-03-12T12:20:07","modified_gmt":"2025-03-12T12:20:07","slug":"elektronenstrahlgeraete","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/systronemv.com\/de\/abschirmungen\/elektronenstrahlgeraete\/","title":{"rendered":"Elektronenstrahlger\u00e4te"},"content":{"rendered":"<div class=\"wpb-content-wrapper\"><p>[vc_row][vc_column][systron_generalboxes left_general=&#8220;Title&#8220; box_left_title=&#8220;<\/p>\n<h1>Mu-Metall Abschirmungen<\/h1>\n<p>&#8222;]Mu-Metall Abschirmungen kommen h\u00e4ufig zum Einsatz, wenn sehr niedrige Magnetfeldgrenzwerte gefordert sind. Aufgrund der hohen magnetischen Permeabilit\u00e4t ist Mu-Metall hervorragend geeignet um hohe Schirmfaktoren auch bei sehr langsam ver\u00e4nderlichen Magnetfeldern zu erreichen.<\/p>\n<p>Die Forschung und Halbleiterindustrie besch\u00e4ftigt sich mit mikroskopisch kleinen Teilen, oft mit Abmessungen im Bereich weniger Nanometer. Die daf\u00fcr verwendeten Ger\u00e4te reagieren besonders empfindlich auf elektromagnetische Felder. Es braucht deshalb entsprechend gesch\u00fctzte Labore, in denen solche Felder reduziert sind. Diese k\u00f6nnen mit zwei unterschiedlichen Techniken reduziert werden: entweder mit passiven magnetischen Raumabschirmungen aus Mu-Metall oder mit aktiven Kompensationssystemen. Oftmals werden die zwei Techniken auch miteinander kombiniert.<\/p>\n<div id='gallery-1' class='gallery galleryid-485 gallery-columns-3 gallery-size-full'><figure class='gallery-item'>\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/abschirmung-aus-mu-metall-konzept-mit-aktiver-magnetfeldkompensation.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"800\" height=\"566\" src=\"https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/abschirmung-aus-mu-metall-konzept-mit-aktiver-magnetfeldkompensation.jpg\" class=\"attachment-full size-full landscape\" alt=\"Abschirmung aus Mu-Metall - Konzept mit aktiver Magnetfeldkompensation\" aria-describedby=\"gallery-1-488\" srcset=\"https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/abschirmung-aus-mu-metall-konzept-mit-aktiver-magnetfeldkompensation.jpg 800w, https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/abschirmung-aus-mu-metall-konzept-mit-aktiver-magnetfeldkompensation-300x212.jpg 300w, https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/abschirmung-aus-mu-metall-konzept-mit-aktiver-magnetfeldkompensation-768x543.jpg 768w\" sizes=\"auto, (max-width: 800px) 100vw, 800px\" \/><\/a>\n\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-1-488'>\n\t\t\t\tMu-Metall Abschirmung mit aktivem Kompensationssystem &#8211; Konzept\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure>\n\t\t<\/div>\n\n<p>Systron plant, fertigt und installiert Raumabschirmungen und Abschirmkabinen basierend auf <a href=\"https:\/\/systronemv.com\/abschirmsysteme\/systron-labshield\/\">Systron LabShield\u00ae<\/a>, dem Mu-Metall Abschirmsystem, zum Schutz von Elektronenstrahlger\u00e4ten vor niederfrequenten Magnetfeldern.[\/systron_generalboxes][\/vc_column][\/vc_row][vc_row][vc_column][systron_generalboxes box_color=&#8220;general-color&#8220; left_general=&#8220;Title&#8220; box_left_title=&#8220;<\/p>\n<h2>Magnetisch geschirmte R\u00e4ume<\/h2>\n<p>&#8222;]Mit <a href=\"https:\/\/systronemv.com\/abschirmsysteme\/systron-labshield\/\">Systron LabShield\u00ae<\/a>, einem auf Mu-Metall basierenden, passiven magnetischen Raumabschirmsystem, werden ganze R\u00e4ume gegen statische, sich langsam ver\u00e4ndernde (Near-DC) und elektromagnetische AC Felder abgeschirmt. Damit werden die in den R\u00e4umen betriebenen empfindlichen Elektronenstrahlger\u00e4te, wie Elektronenmikroskope oder Elektronenstrahl-Lithographie, wirkungsvoll vor St\u00f6rfeldern gesch\u00fctzt. Solche St\u00f6rfelder werden durch Magnete, Fahrzeuge, Aufz\u00fcge und elektrische Komponenten wie Transformatoren, Kabel, Hochspannungsleitungen, Bahnanlagen oder Tram verursacht.<\/p>\n<div id='gallery-2' class='gallery galleryid-485 gallery-columns-3 gallery-size-full'><figure class='gallery-item'>\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/Raum-Zurich-180612-r-u_800.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"800\" height=\"566\" src=\"https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/Raum-Zurich-180612-r-u_800.jpg\" class=\"attachment-full size-full landscape\" alt=\"Elektronenstrahlger\u00e4te - Abschirmungen - magnetisch abgeschirmter Raum - Mu-Metall\" aria-describedby=\"gallery-2-496\" srcset=\"https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/Raum-Zurich-180612-r-u_800.jpg 800w, https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/Raum-Zurich-180612-r-u_800-300x212.jpg 300w, https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/Raum-Zurich-180612-r-u_800-768x543.jpg 768w\" sizes=\"auto, (max-width: 800px) 100vw, 800px\" \/><\/a>\n\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-2-496'>\n\t\t\t\tMu-Metall Abschirmung unterhalb des Fundaments\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure><figure class='gallery-item'>\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/abschirmung-aus-mu-metall-fertig-geschirmter-raum.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"800\" height=\"533\" src=\"https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/abschirmung-aus-mu-metall-fertig-geschirmter-raum.jpg\" class=\"attachment-full size-full landscape\" alt=\"Abschirmung aus Mu-Metall - Fertig geschirmter Raum\" aria-describedby=\"gallery-2-443\" srcset=\"https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/abschirmung-aus-mu-metall-fertig-geschirmter-raum.jpg 800w, https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/abschirmung-aus-mu-metall-fertig-geschirmter-raum-300x200.jpg 300w, https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/abschirmung-aus-mu-metall-fertig-geschirmter-raum-768x512.jpg 768w\" sizes=\"auto, (max-width: 800px) 100vw, 800px\" \/><\/a>\n\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-2-443'>\n\t\t\t\tGeschirmter Mu-Metall Raum mit Systron LabShield\u00ae\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure><figure class='gallery-item'>\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/Montage-einer-Abschirmung_800.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"800\" height=\"600\" src=\"https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/Montage-einer-Abschirmung_800.jpg\" class=\"attachment-full size-full landscape\" alt=\"Elektronenstrahlger\u00e4te - Abschirmungen - Magnetfeldabschirmung Reinraum - Mu-Metall\" aria-describedby=\"gallery-2-500\" srcset=\"https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/Montage-einer-Abschirmung_800.jpg 800w, https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/Montage-einer-Abschirmung_800-300x225.jpg 300w, https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/Montage-einer-Abschirmung_800-768x576.jpg 768w\" sizes=\"auto, (max-width: 800px) 100vw, 800px\" \/><\/a>\n\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-2-500'>\n\t\t\t\tMontage einer Mu-Metall Abschirmung in einem Reinraum\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure>\n\t\t<\/div>\n\n<p>[\/systron_generalboxes][\/vc_column][\/vc_row][vc_row][vc_column][systron_generalboxes left_general=&#8220;Title&#8220; box_left_title=&#8220;<\/p>\n<h2>Abschirmkabinen<\/h2>\n<p>&#8222;]Anstelle von Raumabschirmungen werden auch freistehende, magnetisch abgeschirmte Kabinen (EMF Abschirmkabinen), zum Schutz von empfindlichen Ger\u00e4ten eingesetzt. Solche Ger\u00e4te sind z.B. Elektronenstrahlmikroskope, Elektronenstrahl-Lithographie, Maskeninspektionsger\u00e4te oder medizinische, elektrophysiologische Ger\u00e4te f\u00fcr Elektroenzephalografie (EEG) oder Elektromyographie (EMG).<\/p>\n<p>Die Abschirmkabinen basieren auf einer Rahmenkonstruktion die frei stehend oder auch im Raum integriert aufgebaut wird. Abh\u00e4ngig von der Anwendung werden zur Abschirmung der magnetischen St\u00f6rfelder Mu-Metall oder Silizium-Eisen basierende Metalllegierungen eingesetzt. Damit werden langsam ver\u00e4nderliche Gleichfelder und\/oder elektromagnetische Wechselfelder wirkungsvoll reduziert. Diese Felder werden durch Magnete, Fahrzeuge, Aufz\u00fcge oder elektrische Komponenten wie Transformatoren, Kabel, Hochspannungsleitungen, Bahnanlagen oder Strassenbahnen verursacht.<\/p>\n<div id='gallery-3' class='gallery galleryid-485 gallery-columns-3 gallery-size-full'><figure class='gallery-item'>\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/Raum_Wien-180612-r-u_800.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"800\" height=\"566\" src=\"https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/Raum_Wien-180612-r-u_800.jpg\" class=\"attachment-full size-full landscape\" alt=\"Elektronenstrahlger\u00e4te - Abschirmungen\" aria-describedby=\"gallery-3-504\" srcset=\"https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/Raum_Wien-180612-r-u_800.jpg 800w, https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/Raum_Wien-180612-r-u_800-300x212.jpg 300w, https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/Raum_Wien-180612-r-u_800-768x543.jpg 768w\" sizes=\"auto, (max-width: 800px) 100vw, 800px\" \/><\/a>\n\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-3-504'>\n\t\t\t\tRaum in Raum Mu-Metall Abschirmung\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure>\n\t\t<\/div>\n\n<p>[\/systron_generalboxes][\/vc_column][\/vc_row][vc_row][vc_column][systron_generalboxes box_color=&#8220;general-color&#8220; left_general=&#8220;Title&#8220; box_left_title=&#8220;<\/p>\n<h2>Aktive Magnetfeld- kompensation<\/h2>\n<p>&#8222;]Aktive Magnetfeldkompensationssysteme wurden speziell daf\u00fcr entwickelt, niederfrequente Magnetfelder auf kleinstm\u00f6gliche Werte zu reduzieren. Mit Kompensationssystemen werden St\u00f6rfelder von Elektronenstrahl basierenden Ger\u00e4ten ferngehalten.<\/p>\n<p>Magnetfeldkompensationssysteme reduzieren in Echtzeit niederfrequente Magnetfelder, die durch Fahrzeuge, Aufz\u00fcge, Bahnen, Elektroanlagen oder andere St\u00f6rquellen verursacht werden. Mittels eines empfindlichen Sensors werden die St\u00f6rfelder gemessen und durch Gegenfelder aktiv kompensiert. Voraussetzung f\u00fcr eine wirkungsvolle Kompensation ist ein homogenes St\u00f6rfeld mit niedrigem Gradienten. Dies trifft in der Regel f\u00fcr entfernte Feldquellen wie Hochspannungsleitungen, Bahnanalgen und Strassenbahnen zu. Befinden sich die Quellen in der N\u00e4he, wie zum Beispiel Stromschienen oder Elektrokabel, reduziert sich die Kompensationswirkung.<\/p>\n<div id='gallery-4' class='gallery galleryid-485 gallery-columns-3 gallery-size-full'><figure class='gallery-item'>\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/TEM-mit-Kompensation-und-Spulen_800.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"800\" height=\"644\" src=\"https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/TEM-mit-Kompensation-und-Spulen_800.jpg\" class=\"attachment-full size-full landscape\" alt=\"Elektronenstrahlger\u00e4te - Abschirmungen\" aria-describedby=\"gallery-4-507\" srcset=\"https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/TEM-mit-Kompensation-und-Spulen_800.jpg 800w, https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/TEM-mit-Kompensation-und-Spulen_800-300x242.jpg 300w, https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/TEM-mit-Kompensation-und-Spulen_800-768x618.jpg 768w\" sizes=\"auto, (max-width: 800px) 100vw, 800px\" \/><\/a>\n\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-4-507'>\n\t\t\t\tAktives Magnetfeldkompensationssystem\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure>\n\t\t<\/div>\n\n<p>[\/systron_generalboxes][\/vc_column][\/vc_row][vc_row][vc_column][systron_generalboxes left_general=&#8220;Title&#8220; box_left_title=&#8220;<\/p>\n<h2>Abschirmgeh\u00e4use f\u00fcr Tischmikroskop, SEM<\/h2>\n<p>&#8222;]Abschirmgeh\u00e4use f\u00fcr Tischmikroskope werden individuell, dem Mikroskop entsprechend, gefertigt. Damit werden auch starke, lokale St\u00f6rfelder wirkungsvoll reduziert. Tischmikroskope k\u00f6nnen damit auch an elektromagnetisch ung\u00fcnstigen Standorten betrieben werden.<\/p>\n<p>SEM Tischmikroskope sind kleinere \u201eScanning Electron Microscopes\u201c, SEM\u2019s, die in vielen Bereichen der Wissenschaft (Elektronik, Produktion, Life Sciences, Forensik) eingesetzt werden. Tischmikroskope sind in vielen Ausf\u00fchrungen erh\u00e4ltlich, allen gemeinsam ist jedoch das scanning Prinzip, welches auf einem Elektronenstrahl basiert.<\/p>\n<p>Im Vergleich zu den grossen Mikroskopen, wie zum Beispiel TEM\u2019s, sind Tischmikroskope weit weniger empfindlich gegen\u00fcber elektromagnetischen Einfl\u00fcssen. Daf\u00fcr werden die Standorte, an denen Tischmikroskope eingesetzt werden, vorg\u00e4ngig nicht bez\u00fcglich elektromagnetischen St\u00f6rfeldern untersucht. In der Folge stehen Tischmikroskope oftmals an Standorten mit starken elektromagnetischen Streufeldern. Der Betrieb der Mikroskope in solchen Umgebungen wird dadurch stark eingeschr\u00e4nkt oder sogar verunm\u00f6glicht. Typische elektromagnetische Quellen, die Tischmikroskope st\u00f6ren, sind geb\u00e4udeinterne Elektroinstallationen wie elektrische Kabel in Br\u00fcstungskan\u00e4len, Steigleitungen, Kabeltrassen, hausinterne Trafostation, magnetische Aufz\u00fcge, Strassenbahnen oder DC-Magnete.<\/p>\n<p>Abschirmgeh\u00e4use f\u00fcr Tischmikroskope bestehen aus w\u00e4rmebehandeltem Mu-Metall und reduzieren magnetische AC Wechsel- und DC Gleichfelder wirkungsvoll.<\/p>\n<div id='gallery-5' class='gallery galleryid-485 gallery-columns-3 gallery-size-full'><figure class='gallery-item'>\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/magnetic-shield-sem_800.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"800\" height=\"600\" src=\"https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/magnetic-shield-sem_800.jpg\" class=\"attachment-full size-full landscape\" alt=\"Elektronenstrahlger\u00e4te - Abschirmungen: Mu-Metall Abschirmung f\u00fcr ein SEM\" aria-describedby=\"gallery-5-510\" srcset=\"https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/magnetic-shield-sem_800.jpg 800w, https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/magnetic-shield-sem_800-300x225.jpg 300w, https:\/\/systronemv.com\/wp-content\/uploads\/2022\/04\/magnetic-shield-sem_800-768x576.jpg 768w\" sizes=\"auto, (max-width: 800px) 100vw, 800px\" \/><\/a>\n\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-5-510'>\n\t\t\t\tMu-Metall Abschirmung f\u00fcr ein SEM Tischmikroskop\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure>\n\t\t<\/div>\n\n<p>[\/systron_generalboxes][\/vc_column][\/vc_row][vc_row][vc_column][systron_referenceboxes box_color=&#8220;general-color&#8220; references=&#8220;%5B%7B%22reference_title%22%3A%22TEM%20Raumabschirmung%20IMP%20Vienna%20BioCenter%22%2C%22url%22%3A%22url%3Ahttps%253A%252F%252Fwww.systronemv.com%252Fde%252Freferenzen%252Freferenz-elektronenstrahlgeraete%252F%7Ctitle%3AHome%22%7D%2C%7B%22reference_title%22%3A%22Quantenphysik%20Raumabschirmung%20ZAQuant%20Universit%C3%A4t%20Stuttgart%22%2C%22url%22%3A%22url%3Ahttps%253A%252F%252Fwww.systronemv.com%252Fde%252Freferenzen%252Freferenz-elektronenstrahlgeraete%252F%7Ctitle%3AHome%22%7D%2C%7B%22reference_title%22%3A%22TEM%20Raumabschirmung%20ScopeM%20ETH%20Z%C3%BCrich%22%2C%22url%22%3A%22url%3Ahttps%253A%252F%252Fwww.systronemv.com%252Fde%252Freferenzen%252Freferenz-elektronenstrahlgeraete%252F%7Ctitle%3AHome%22%7D%2C%7B%22reference_title%22%3A%22TEM%20Raumabschirmung%20DCN%20TU-Dresden%22%2C%22url%22%3A%22url%3Ahttps%253A%252F%252Fwww.systronemv.com%252Fde%252Freferenzen%252Freferenz-elektronenstrahlgeraete%252F%7Ctitle%3AHome%22%7D%5D&#8220;][\/vc_column][\/vc_row]<\/p>\n<\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>[vc_row][vc_column][systron_generalboxes left_general=&#8220;Title&#8220; box_left_title=&#8220; Mu-Metall Abschirmungen &#8222;]Mu-Metall Abschirmungen kommen h\u00e4ufig zum Einsatz, wenn sehr niedrige Magnetfeldgrenzwerte gefordert sind. 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